하전(荷電)은 반도체 소재, 절연체 박막과 같은 전도 성능이 좋지 않은 물체에 대해 전자빔의 작용 하에 그 표면에 일정한 음전하가 생기는 것을 말한다. 이것은 오제 전자 분광법(Auger Electron Spectroscopy, AES)의 하전효과이다.
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